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Accurion 成像橢圓偏振儀

更新時(shí)間:2010-11-10點(diǎn)擊次數(shù):6623

1)成像橢圓偏振儀和傳統(tǒng)橢圓偏振儀有什么區(qū)別
橢圓偏振是一項(xiàng)測量薄膜厚度,折射率等參數(shù)的技術(shù),與傳統(tǒng)橢圓偏振儀相比,成像橢圓偏振有以下特點(diǎn):
成像可以讓你看到樣品
通過CCD相機(jī)你可以直接看到樣品圖片,這樣的圖片也可以展示橢偏對(duì)比度,讓你分析樣品的均勻性,對(duì)于非常薄的膜,只有橢圓偏振對(duì)比圖可以成像,常規(guī)光學(xué)顯微鏡無法做到這一點(diǎn)。
定位的測量
你可以看到你的樣品,所以你可以定位你想要測量的感興趣點(diǎn)區(qū)域。即使樣品需要成像,你也可以確保你在均一的地方測量。傳統(tǒng)橢圓偏振儀給出的是一個(gè)平均數(shù)字。成像橢圓偏振給出的不是平均數(shù)字,而是實(shí)際數(shù)字。
更多的,你可以測量線裝樣品。我們的客戶已經(jīng)成功地在玻璃纖維和人的頭發(fā)上做了測量。
高橫向分辨率
Accurion的橢圓偏振儀zui高可以到1微米的橫向分辨率,其他傳統(tǒng)橢圓偏振儀一直只有100-500微米,部分儀器可以達(dá)到50微米。
正是由于這個(gè)原因,我們的系統(tǒng)是測量表面機(jī)構(gòu),小面積薄膜,或者分析薄膜不均一性的理想儀器。
當(dāng)然,成像橢圓偏振儀提供理想的縱向分辨率,根據(jù)不同的樣品,可以高于1nm.
快速測量
使用Accurion的EP3-View軟件,Ep3可以測量厚度分布度,當(dāng)然包括折射率分布圖,這種分布圖包括整個(gè)可視范圍。這種圖片類似于原子力顯微鏡的圖片。不需要掃描整個(gè)樣品,這個(gè)過程在小于一分鐘內(nèi)完成。

使用成像橢圓偏振儀,你將有一種快速有效的技術(shù)在高分辨率測量微結(jié)構(gòu)或者薄膜不均一性。因此,使用成像橢圓偏振儀EP3你能夠確保得到你想要的相關(guān)數(shù)據(jù)。

2)是否需要激光臂掃描整個(gè)樣品,象傳統(tǒng)橢圓偏振儀一樣?
EP3使用非聚焦光束原理工作。由于物鏡和CCD相機(jī),你可以在一次測量中得到視野內(nèi)的所有數(shù)據(jù)。值得一提的是:CCD相機(jī)的每一個(gè)像素等同于掃描橢圓偏振儀的一次點(diǎn)測量。
一般來說,可是區(qū)域,從200*200平方微米,到2.5*2.5平方毫米,不同的面積取決于選擇的光學(xué)器件。對(duì)于大面積的樣品, 你需要使用我們的手動(dòng)或自動(dòng)樣品臺(tái)移動(dòng)樣品。因此,掃描,僅對(duì)于大面積樣品需要。

3)如何獲得高的橫向分辨率?
相比較傳統(tǒng)微點(diǎn)橢圓偏振儀,成像橢圓偏振儀的激光束是非聚焦的。正是由于這個(gè)原因,橫向分辨率D由物鏡鏡頭孔徑NA以及波長λ決定:D = 0.61 λ / NA。
比如,20倍的物鏡其鏡頭孔徑NA為0.35nm ,對(duì)于532nm的光波長來說,其橫向分辨率大約為一個(gè)微米。

4)能夠測量什么樣的zui小結(jié)構(gòu)?
zui高的橫向分辨率能夠得到是1微米,這接近于光學(xué)衍射極限。為了避免結(jié)構(gòu)邊界的測量假象,zui小的測量結(jié)構(gòu)必須超過極限分辨率。作為一種常識(shí),結(jié)構(gòu)必須不小與三微米,來得到可靠的測量。這樣的分辨率必須在20倍物鏡下,厚度跟隨沉底變化,結(jié)構(gòu)不超過20nm的情況才是有效的。

5)能否像傳統(tǒng)橢圓偏振儀一樣,測量SI上的SIO2或其他類似的?
當(dāng)然。成像橢圓偏振儀的操作和傳統(tǒng)橢圓偏振儀基本一致,因此厚度測量對(duì)于Accurion的Ep3也是一個(gè)基本功能。
請(qǐng)注意,成像是一個(gè)額外功能,可以使你對(duì)樣品有一個(gè)直接的觀察,這能夠確保你測量的是樣品的相關(guān)區(qū)域。

6)EP3如何進(jìn)行常規(guī)測量?
不需要做特殊的樣品前處理,把樣品規(guī)則的放在Ep3的載物臺(tái)上。相機(jī)軟件控制單元直接調(diào)節(jié)樣品高度和zui終聚焦掃描器。簡單的調(diào)節(jié)偏振器和分析器,可以得到初步的橢圓偏振圖片用來定性分析。
選擇多個(gè)或單個(gè)感興趣區(qū)域,之后,測量步驟如下:
旋轉(zhuǎn)偏振器和分析器使探測器得到zui小的信號(hào)(消光過程),此時(shí)得到偏振角 和分析角,由此得到偏振參數(shù)Delta和Psi。這個(gè)過程的優(yōu)點(diǎn)之一是,我們得到一個(gè)測量角而不是光線變化,這樣可以避免光線不穩(wěn)定性或檢測器非線性帶來的問題。所有的測量都不是手動(dòng),由EP3儀器完成。
現(xiàn)在橢圓偏振振數(shù)據(jù)Delta和Psi需要變成想要的數(shù)據(jù),一般是厚度,折射率或者吸光率。由于橢圓偏振儀是模型基礎(chǔ)的技術(shù),這一步非常重要,可能需要一些橢圓偏振的使用經(jīng)驗(yàn)。一個(gè)合適的光學(xué)模型選定以后,可以為以后類似的樣品做快速測量。
Ep3-View軟件含有完整的模型,適合于初學(xué)者使用。更多的,Accurion提供集體培訓(xùn)或私人培訓(xùn),以幫助使用者。

7)使用Ep3如何獲得全面的聚焦圖片?
成像橢圓偏振儀使用obligue observation angle工作,由于物鏡的小聚焦成像深度,非常有限的成像區(qū)域可以很好的聚焦(線性形狀) 。
成像橢圓偏振儀EP3使用機(jī)械聚焦機(jī)制,選擇視野內(nèi)一系列不同聚焦度的圖片,克服了這種限制。更重要的是,所謂的聚焦掃描器把這樣的窄線擴(kuò)展到整個(gè)視野,選擇一系列圖片。數(shù)碼成像過程加倍了圖片的聚焦過程,形成了邊到邊的圖片。
這是AccurionEP3的*的特性。

8)能不能用Ep3測量多層膜?
可以。測量多個(gè)參數(shù)或多層膜,必須盡可能獲得足夠多的參數(shù),對(duì)于這個(gè)應(yīng)用,光譜型成像橢圓偏振儀更適合。

9)能否測量紅外區(qū)(> 1000 nm)或紫外區(qū)(< 365 nm)
由于顯微物鏡和其他光學(xué)器件,暫時(shí)不能測量< 365 nm的紫外區(qū)域。同時(shí),原則上可以測量紅外區(qū)域,但是測量紅外的CCD非常昂貴,導(dǎo)致儀器非常昂貴。

10)為什么使用濾光片而不是單色器?
成像橢圓偏振儀需要足夠的光學(xué)強(qiáng)度使CCD檢測器獲得橢圓偏振參數(shù)。

11)光譜型成像橢圓偏振儀EP3-SE有什么優(yōu)點(diǎn)?
Ep3-SE對(duì)于單波長的儀器,可以測量更多的數(shù)據(jù),因此:

  1. 獲得更高的精度和可重復(fù)性
  2. 分析多參數(shù)或多個(gè)多層膜
  3. 對(duì)吸收材料選擇一個(gè)合適的光波長
  4. 波長轉(zhuǎn)換優(yōu)化靈敏度
  5. 解決厚膜的厚度不確定性

同時(shí),可實(shí)現(xiàn)多波長視野圖,厚度或者折射率的索引圖,與原子力顯微鏡的表面繪圖類似。
對(duì)每一個(gè)波長都能得到zui高的橫向分辨率,這使得Ep3-SE成為微區(qū)結(jié)構(gòu)光譜掃描*的儀器。
光譜型成像橢圓偏振儀使用氙燈,365-1000nm,分為46個(gè)步長,對(duì)于很低折射率的樣品(玻璃上的DNA,液體環(huán)境下的測量),激光發(fā)生器會(huì)自動(dòng)加入標(biāo)準(zhǔn)框架。
在Ep3-SE范圍內(nèi)的任何波長,在線成像可以直接可視樣品,包括橢圓偏振對(duì)比參數(shù)。這樣,可以檢測樣品的均一性,待檢測結(jié)構(gòu)的性質(zhì),然后定義ROI,進(jìn)行測量。根據(jù)應(yīng)用的需求,選擇單波長或光譜型測量。

12)是否可能升級(jí)單波長橢圓偏振儀到多波長橢圓偏振儀或光譜型橢圓偏振儀?
可以。EP3是模塊化設(shè)計(jì),升級(jí)非常簡單。由于絕大多數(shù)的應(yīng)用單波長的儀器已經(jīng)夠用,我們建議先購買Ep3-SW,然后再?zèng)Q定是否升級(jí)到EP3-MW,或Ep3-SE。

13)自動(dòng)量角器的優(yōu)勢(shì)是什么?
自動(dòng)量角器的優(yōu)勢(shì)是:
為多參數(shù)分析搜集更多數(shù)據(jù)
Delta和Psi取決于波長和入射角,自動(dòng)測角器可以自動(dòng)調(diào)節(jié)入射角從40度到90度,搜集盡可能多的獨(dú)立數(shù)據(jù)。可以帶來全自動(dòng)的入射角譜測量。因此,可以推導(dǎo)過單層膜的更多參數(shù),比如折射率和厚度。
使不同樣品或不同襯底的測量簡單化
橢圓偏振具有zui高的精度,當(dāng)入射角接近布魯斯特角的時(shí)候。不同的樣品有不同的布魯斯特角,自動(dòng)量角器簡化了不同入射角的快速轉(zhuǎn)化。
SPR或光學(xué)薄片測量
對(duì)于SPR片或光學(xué)薄片地測量,入射角需要非常謹(jǐn)慎的選擇以獲得高分辨率。自動(dòng)量角器可以使入射角的分辨率達(dá)到0.001度,精度達(dá)到0.01度。

14)應(yīng)該選擇什么樣的激光光源?
光源的選擇取決于應(yīng)用。對(duì)于決大部分的應(yīng)用我們推薦532nm,20MW,固體激光光源,該光源整合在標(biāo)準(zhǔn)配置中。對(duì)于部分應(yīng)用,比如像測量地折射率的襯底,或者測量水以及液體的薄膜,我們建議用功率更高的激光器。(比如50MW ,532nm固體激光器)
有些材料吸收特定波長的光,對(duì)于這些應(yīng)用,可以選擇合適波長的二極管激光或者我們的多波長盒。
對(duì)于SPR或者光學(xué)薄片測量,我們推薦635nm二極管激光為*靈敏度選擇。
如果想要的適應(yīng)性,我們推薦光譜盒,這種配置,532nm,15MW的固體激光發(fā)生器內(nèi)置在里面。

15)樣品的尺寸是否有限制?
沒有。EP3的設(shè)計(jì)是開放的。對(duì)樣品沒有常規(guī)尺寸的限制。我們提供的手動(dòng)樣品載物臺(tái),可以有100mm的移動(dòng)范圍。
我們同樣提供玻璃的樣品載物臺(tái)或其他客戶訂制的載物臺(tái)。

16)能不能測量蛋白在玻璃上的吸附?
是,可以測量蛋白質(zhì)或DNA在玻璃表面的吸附。蛋白質(zhì)層的表面密度和折射率會(huì)變化很大,不幸運(yùn)的情況下,蛋白質(zhì)層的折射率和玻璃的折射率會(huì)相差不大。這會(huì)導(dǎo)致很低的靈敏度,在30%的應(yīng)用中會(huì)遇到這種情況。為了解決這種問題,Accurion發(fā)展出一套特殊的光學(xué)薄片,靈敏度大大高度普通玻璃,并且靈敏度獨(dú)立于生物材料的密度和折射率。這種薄片可以在空氣中測量終點(diǎn),或者在Accurion的SPR單元或液體操里做動(dòng)力學(xué)測量。這種動(dòng)力學(xué)測量的靈敏度是30 pg/mm2,所以分子量為20000DA的抗原在抗原抗體分析中可以被測量。

17)是否可以當(dāng)作布魯斯特角顯微鏡來使用?
是,可以。成像橢圓偏振儀由布魯斯特角顯微鏡發(fā)展而來,并繼承布魯斯特角顯微鏡功能。您*要做的是,把LB槽放在Ep3下,把補(bǔ)償器調(diào)為0度,把入射角選為布魯斯特角,然后可以開始BAM測量。
震動(dòng)或者空氣會(huì)對(duì)測量產(chǎn)生影響。我們建議配一個(gè)減震器,同時(shí)配一個(gè)防塵罩。

18)樣品是否需要特殊準(zhǔn)備?
不需要。只要把樣品放在載物臺(tái),然后開始測量。
請(qǐng)注意:橢圓偏振儀是一種模型基礎(chǔ)的方法。為了得到好的結(jié)果,我們需要知道樣品部分信息。比如,大約的厚度范圍。

19)Ep3-SPEM有何優(yōu)勢(shì)?
Ep3-SPEM聯(lián)合了兩種有力的表面分析技術(shù):原子力顯微鏡和成像橢圓偏振儀。它可以讓你看到薄膜和表面結(jié)構(gòu),然后閱讀納米尺度細(xì)節(jié)。
如果您的研究領(lǐng)域?yàn)楸砻娣治觯枰玫奖∧ず穸龋鈱W(xué)性質(zhì),微米尺度的均一性和概貌以及納米尺度的粗糙度,Accurion的Ep3-SPEM是的選擇。

20)Mapping過程如何工作?
成像橢圓偏振儀可以在30秒內(nèi)得到10萬個(gè)點(diǎn)delta分布圖。為了得到這些數(shù)據(jù),儀器記錄了一系列不同偏振角但是相同分析角的在線圖片。因此,樣品成像區(qū)域的每個(gè)點(diǎn)的亮度可以作為偏振角的功能。這種功能進(jìn)行選擇,修正偏振角P 到zui小信號(hào),對(duì)每個(gè)點(diǎn)進(jìn)行成像。P-map被轉(zhuǎn)化為delta-map,通過合適的光學(xué)模型,每一個(gè)delta數(shù)據(jù)可以轉(zhuǎn)化為厚度。多參數(shù)分析有時(shí)需要得到更多的數(shù)據(jù),需要在多波長下進(jìn)行重復(fù)Mapping。

21)SPR或光學(xué)薄片橢圓偏振測量,建議的配置是什么?
對(duì)SPR成像橢圓偏振分析,我們建議單波長低功率激光器。SPR的金層需要和波長吻合。為了得大靈敏度,波長應(yīng)該在620nm到690nm之間。532nm也可以作為分析,這個(gè)時(shí)候金層的厚度需要被計(jì)算。
我們推薦我們Kinetic / SPR單元。包括測量所需的棱柱。Accurion提供修飾過或沒有修飾過的SPR薄片。
對(duì)于光學(xué)薄片,我們同樣推薦低功率激光器,標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)薄片的更多信息包括:

  1. 不需要金層。
  2. 對(duì)激光波長沒有要求。
  3. BK7棱鏡。(Kinetic / SPR單元中含有)

高靈敏度的光學(xué)薄片:

  1. 建議使用633nm波長;
  2. 不需要使用金層。
  3. BK7棱鏡。(Kinetic / SPR單元中含有)

22)動(dòng)力學(xué)測量是否需要?jiǎng)恿W(xué)附件軟件?
不需要。動(dòng)力學(xué)附件軟件提供了完整測量生物芯片的功能,包括,記錄,可視,動(dòng)力學(xué)分析。聯(lián)合Ep3-View軟件,它可以得到測量中的所有相關(guān)數(shù)據(jù),并且允許在線和離線分析。
同時(shí),動(dòng)力學(xué)測量可以不用動(dòng)力學(xué)附加軟件。輸出數(shù)據(jù)允許后續(xù)的動(dòng)力學(xué)分析在外部軟件中進(jìn)行。

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